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This item is licensed Korea Open Government License
- Title
- 반도체 플라즈마 공정장비 지능화 기술 개발 및 실증
- Alternative Title
- Development and demonstration of intelligent technology for semiconductor plasma processing equipment
- Author(s)
- 유진승
- Publisher
- 국가과학기술연구회
- Publication Year
- 2021
- Keyword
- 공정장비; 부품 생산; 운영; 관리 상태데이터
- Files in This Item:
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- Appears in Collections:
- 7. KISTI 연구성과 > 연구보고서 > 2021
- Type
- Report
