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This item is licensed Korea Open Government License
- Title
- 대면적 증착용 Magnetron Sputter 시뮬레이터 개발
- Publisher
-
한국과학기술정보연구원
Korea Institute of Science and Technology Information
- Publication Year
- 2014-09
- Description
- funder : 중소기업청
- Abstract
-
비공개항목입니다.
비공개항목입니다.
- Keyword
- 마그네트론스퍼터; 입자 시뮬레이션; 금속 증착; 병렬 처리; 연동해석
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- Appears in Collections:
- 7. KISTI 연구성과 > 연구보고서 > 2014
