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공공누리This item is licensed Korea Open Government License

Title
대면적 증착용 Magnetron Sputter 시뮬레이터 개발
Publisher
한국과학기술정보연구원
Korea Institute of Science and Technology Information
Publication Year
2014-09
Description
funder : 중소기업청
Abstract
비공개항목입니다.

비공개항목입니다.
Keyword
마그네트론스퍼터; 입자 시뮬레이션; 금속 증착; 병렬 처리; 연동해석
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Appears in Collections:
7. KISTI 연구성과 > 연구보고서 > 2014
URI
https://repository.kisti.re.kr/handle/10580/11256
http://www.ndsl.kr/ndsl/search/detail/report/reportSearchResultDetail.do?cn=TRKO201500013405
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