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This item is licensed Korea Open Government License
- Title
- 슈퍼컴퓨터를 활용한 대면적 반응 공정이 안정화된 진공 증착 설비 개발
- Publisher
-
한국과학기술정보연구원
Korea Institute of Science and Technology Information
- Publication Year
- 2014-08
- Description
- funder : 중소기업청
- Abstract
-
비공개항목입니다.
비공개항목입니다.
- Keyword
- 진공증착; 플라즈마; 스퍼터링; 구조분석; 유동분석
- Files in This Item:
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- Appears in Collections:
- 7. KISTI 연구성과 > 연구보고서 > 2014
