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공공누리This item is licensed Korea Open Government License

Title
슈퍼컴퓨터를 활용한 대면적 반응 공정이 안정화된 진공 증착 설비 개발
Publisher
한국과학기술정보연구원
Korea Institute of Science and Technology Information
Publication Year
2014-08
Description
funder : 중소기업청
Abstract
비공개항목입니다.

비공개항목입니다.
Keyword
진공증착; 플라즈마; 스퍼터링; 구조분석; 유동분석
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Appears in Collections:
7. KISTI 연구성과 > 연구보고서 > 2014
URI
https://repository.kisti.re.kr/handle/10580/11264
http://www.ndsl.kr/ndsl/search/detail/report/reportSearchResultDetail.do?cn=TRKO201500014312
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