MEMS 기술

Abstract

1980년대 중반 반도체 제조공정을 이용하여 미소기계요소 제반 및 전자회로와의 집적화를 가능케 한 MEMS(Micro Electro Mechanical System) 기술이 탄생하였다. 90년대 초반부터 미국ㆍ유럽ㆍ일본 등 기술선진국에서는 국가적인 차원에서의 관련 기술개발을 위해 대형 연구프로그램을 추진해오고 있다. 우리나라에서는 국가선도기술개발사업의 일환으로 G7 MEMS 기술개발사업을 추진하여 1995년 12월부터 2002년 9월까지 6년 10개월 동안 총725억(정부 380억, 민간 345억)원을 투입하여 MEMS 기술의 산학연 기반 확보에 주력해왔다. 최근 국외 선진국에서는 MEMS 기술을 기반으로 한 새로운 산업분야 형성과 신규 기업체의 창출은 물론 기존 산업의 경쟁력 강화와 첨단 고부가가치 영역으로의 발전전환을 꾀하고 있다. 이에 국내 기술성과를 결집하고 이의 종합적인 활용을 통하여 국제경쟁력을 갖춘 제품을 개발함으로써 국내 MEMS 산업화의 꽃을 피우고 그 결실을 거두기 위한 종합적인 전략과 장기발전 계획 수립이 절실히 요구되고 있다. 이에 본 심층기술보고서는 최근 국내외 MEMS 기술의 발전동향 및 시장 분석과 관련 국가기술개발사업의 성과분석, 그리고 이를 근거로 한 국내 MEMS 기술의 성숙과 향후 기술개발 방안에 관해 토의한다.