한국과학기술정보연구원 Korea Institute of Science and Technology Information
Publication Year
2002-04
Description
funder : 산업자원부
Abstract
가. 제1차년도 · Sputter Chamber 제조 · 진공 Coating Chamber 제조 - 0.5m × 1m 크기의 Color Glass 제조용 - 도달진공도 : 10-5torr - 연속 Sputter 장치제조를 위한 Gate Valve 제작 · Arc제어 고성능 Power Supply 개발 · Sputter Target 연구 · 다양한 Coloring에 대한 Soft-ware 개발나. 제2차년도 · Load Lock System 개발 · Sample 이송장치개발 · 자동조절장치개발 · 다층 Coating 기술개발 · 시제품제작 및 보완 · 자동차용 발열유리 제조기술 연구 - 투명전도체 코팅기술 연구 - 두께에 따른 발열량 조사 - 최적조건 연구 · 광학용 다층 박막제조 기술연구